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我國電子工業(yè)部高純水水質(zhì)試行標(biāo)準(zhǔn)

作者:北京中天恒遠(yuǎn) 發(fā)布于:2014-10-10 08:45:09瀏覽量:

水處理設(shè)備

我國電子工業(yè)部高純水水質(zhì)試行標(biāo)準(zhǔn)

化學(xué)指標(biāo)單位:μg/L

序號(hào)

水質(zhì)項(xiàng)目

一級(jí)高純水指標(biāo)

二級(jí)高純水指標(biāo)

1

電阻率(25℃)MΩ·cm

≥15

≥10

2

電導(dǎo)率,μs/cm

0.05

0.1

3

PH

6.87.2

6.67.4

4

細(xì)菌總數(shù),個(gè)/mL

3

9

5

微粒(直徑>0.5μm,粒/mL

150

300

6

二氧化硅

10

20

7

有機(jī)物(以COD計(jì))

0.3

0.5

8

 Na

0.5

2

9

 Fe

1

2

10

 Cu

0.5

1

11

 Ca

1

3

12

 Mg

0.2

1

13

 Zn

0.5

1

14

 Mn

0.2

0.5

說明:①一級(jí)高純水適用于大規(guī)模集成電路,微波器件以及有相同要求到半導(dǎo)體器件產(chǎn)品。
  、诙(jí)高純水適用于一般電路,分立器件以及有相同要求的半導(dǎo)體器件產(chǎn)品。
   ③本表按1980年電子工業(yè)部標(biāo)準(zhǔn)摘錄。

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